升降燒結爐是指使粉末壓坯通過(guò)燒結獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀(guān)結構的專(zhuān)用設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線(xiàn)燒結。
為了保證粉末壓坯在燒結過(guò)程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉變等順利進(jìn)行,燒結時(shí)需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行精確的控制。
因此,升降燒結爐在結構上應滿(mǎn)足以下要求:
(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱(chēng)脫蠟帶)。
(2)具有氣密性,即能隔絕爐外空氣并保證爐內保護氣氛暢通。
(3)爐內的各段溫度可控,燒結氣氛可調。
(4)具有快速冷卻裝置,可將燒結零件快速冷卻到出爐溫度而不會(huì )氧化。
升降燒結爐使用的注意事項:
(1)當使用氫氣或分解氨時(shí),要先通入氮氣,在確保爐中的空氣*被排出時(shí),才能通電升溫,以防止打鳴和爆炸。
(2)對鉬絲作加熱元件的燒結爐,在通電前爐體中應通入保護氣體,以防止鉬絲氧化而脆斷。
(3)爐門(mén)及氣體排出口應點(diǎn)明火燒除,以防止氧氣進(jìn)入或氫氣排出而發(fā)生爆炸危險和煤氣中毒危險。
(4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲,在升溫至1100℃時(shí)應停留一段時(shí)間(30min左右)再升溫,以防止電阻絲表面溫度過(guò)高而損壞。
(5)在升溫前和操作中應不時(shí)檢查氣流、水流是否符合要求,以及檢查設備、電和爐溫的控制儀表是否正常。
(6)停爐前應先斷電,在爐溫降到200℃以下時(shí)再停氣和停水。
(7)除了因維修必須停爐外,要避免頻繁停爐。燒結爐的頻繁開(kāi)停,會(huì )造成加熱元件易于老化,耐火材料易于碎裂,爐內氣氛不純,爐溫容易波動(dòng)等弊端。