真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體(如氬)等各種氣氛。下面我們來(lái)了解下?tīng)t子的相關(guān)事項。
真空氣氛爐中真空系統的氣密性表征了防止氣體滲漏的性能，包括漏孔(或間隙)的漏氣和材料的滲氣，其優(yōu)劣通常用漏率表示。漏率是單位時(shí)間內流過(guò)漏孔(包括間隙)的氣體量。
在國際標準中，漏率定義為：漏孔入口壓力為1*0.1*105Pa，出口壓力低于1.33*103Pa，溫度為23℃±7℃的標準條件下，露 點(diǎn)溫度低于﹣25℃的空氣，單位時(shí)間內流過(guò)漏孔的氣體量。
真空檢漏的目的，不僅是判斷真空氣氛爐系統是否漏氣，定量地檢測出漏率的大小，更重要的是找出漏孔的位置或漏氣原因，以便采取措施進(jìn)行修補。真空檢漏的基本原理是利用真空系統內外的壓差使氣體流動(dòng)并運用一定的技術(shù)手段檢測出漏孔的位置。
真空系統內部充有高于大氣壓力的氣體，使氣體由內向外流動(dòng)進(jìn)行檢漏的方法稱(chēng)為正壓檢漏法臺車(chē)爐，檢漏儀器探頭從外部探測示漏氣體，從而確定漏孔位置及漏率。把真空系統抽成真空，從外部用噴嘴向系統噴射示漏氣體，使氣體由外向內流動(dòng)，觀(guān)察檢漏儀讀書(shū)變化，從而確定漏孔位置及漏率，這種檢漏稱(chēng)為負壓檢漏法，也可稱(chēng)為真空檢漏法。
