燒結爐是指使粉末壓坯經(jīng)過(guò)燒結獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀(guān)結構的專(zhuān)用設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完結鋁背場(chǎng)及柵線(xiàn)燒結。
負壓脫脂是一邊流量計往爐內充氣體，一邊滑閥泵抽，在升溫中運用氣流來(lái)把粘結劑從產(chǎn)品中脫除。真空內燒是不充氣體，滑閥泵一直抽，爐體升溫，在真空中燒結。分壓燒結時(shí)充入氣體維持一定的壓力，爐體升溫，在分壓中燒結。強制冷卻是快速充入氣體，風(fēng)機打開(kāi)，運用氣體在爐內循環(huán)，經(jīng)過(guò)冷卻水把熱量帶走。
為了確保粉末壓坯在燒結過(guò)程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉變等順利進(jìn)行，燒結時(shí)需求對燒結溫度、維護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行準確的控制。
因此，燒結爐在結構上應滿(mǎn)意以下要求：具有完善的潤滑劑燒除設備（俗稱(chēng)脫蠟帶）。具有氣密性，即能阻隔爐外空氣并確保爐內維護氣氛暢通。爐內的各段溫度可控，燒結氣氛可調具有快速冷卻設備，可將燒結零件快速冷卻到出爐溫度而不會(huì )氧化。
